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www.463com高真空磁控溅射台采购招标投标邀请书

作者:审核:责编:来源:发布时间:2011-03-31浏览次数:1626

 
 
www.463com高真空磁控溅射台采购招标投标邀请书
我院需采购高真空磁控溅射台,欢迎有关厂家或供货商参与投标供货。本次招标采购的具体要求如下:
一、采购设备名称、技术参数要求、数量
序号
设备名称
技术参数要求
数量
单价
合    价
1
高真空磁控溅射台
见附件一
1
 
 
合价
 
要求所报仪器设备均为原厂原包装合格产品,根据需要上门安装调试。
二、投标人资质 
投标人投标时须提供:
1、投标人的营业执照副本复印件并加盖投标人公章。
2、投标人的法人授权委托书原件及受托人身份证原件、复印件,身份证原件经核对无误后即退回。
三、交货期   签订合同后60天内供货到位。
四、交货方式  要求供货人免费送货上门。
五、质量保证期  要求供货人按产品质保期免费包修。
六、投标报价注意事项  投标人报价时须包括设备、运输、安装调试、质保、税金等所有费用。
七、交货地点  www.463com。
八、付款方式  货到我院指定场地,安装调试成功,设备运行良好,并经验收合格后10个工作日内付合同总价的95%,其余5%货款等质保期满1年无质量问题一次性付清(不计利息)。
九、综合评标法  根据产品的品牌、质量、参数指标、价格及供货商的服务态度等,选择性价比最优的产品。
十、投标保证金  拟参加投标供货的单位须交纳7000元投标保证金,投标人中标后,其投标保证金转为履约保证金,等设备验收合格后即退回;未中标人的投标保证金在评标结束后当即退回。
十一、违约责任  中标人应在公示结束后5日内与我院国有资产管理处签订合同。如中标人5日内不与我院签订合同,或中标人不能按期交货,或所供产品不符合合同约定,或因产品质量问题等导致验收不合格,中标人递交的7000元履约保证金不予返还,同时,我院将视情况取消中标人供货资格、退货并拒付货款。
十二、递交投标文件的时间、地点  拟参加投标供货的单位请自带300元投标费用(此费用不退),投标保证金以及密封完整并加盖投标人公章的投标文件(含资质材料)于2011年 4月11日14:30前送至我院新长校区行政楼物资招标办公室。投标保证金以现金或汇款方式缴纳,如投标人通过快递方式投标,投标保证金可通过汇款方式汇到我院财务处,收款单位:www.463com,帐号:1109660609000007160,开户行:市工行,育才分。
十三、联系地址  盐城市经济开发区希望大道,www.463com新长校区。
十四、联系方式  电话:0515-88258069   88233070 
十五、联系人    刘先生           
                    www.463com物资招标办公室                  2011年3月31日 
 
 
超高真空磁控溅射台技术参数要求
 
1、溅射室
1.极限真空度:≤6.6×10-5 Pa;
2.系统真空检漏漏率:≤5.0×10-7 Pa.l/S;
3.溅射材料: 各种金属膜、合金膜、介质膜;
4.系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,40分钟可达到6.6×10-4 Pa;
5.停泵关机12小时后真空度:≤5 Pa;
6.设有安全保护及报警系统;
7.溅射靶规格: φ50-80mm;
8.溅射靶数量: 4;
9.镀膜均匀性: ≤±4%;
10.样片台可回转,转速可调;
11.样片衬底可加热, 加热温度≥600℃,可自动控温,测温;
12.溅射形式:可实现单层膜溅射,复合膜溅射,多层膜交替或共溅射等;
13.靶与样品距离40~80mm可调,并有调位距离指示;
14.具有进样室,在镀膜室不曝露大气条件下完成取送样品的要求;
15.进样室样品库每次可装夹3-5片φ30mm 或φ6?单片样品。
 
2、单基片水冷加热台组件
    1. 取下加热炉可以换上水冷基片台;
    2. 基片可连续回转,转速5~10转/分;
    3. 基片可以加负偏压-200V。
  
3、工作气路
1. 二个质量流量控制器可控制四路气体进气,具有混气室;
    2. 可通入反应气体如氧气,实现反应磁控溅射。
 
4、抽气机组
1、复合分子泵及变频控制电源:
抽气速率L/S 可达600,
压缩比(N2,H2)>109, 6×103
极限压强(Pa)优于6×10-6
转速(rpm)达27000,
启动时间<5mins,
水冷水温<25℃,
振动值(mm)< £0.1;
2、直联机械泵:
   抽气速率 L/S  可达9,
   极限压强(Pa)优于4×10-2
   油容量 1.8L,
   转速(rpm) 达1450;
3、分子泵与真空室隔离良好;
4、预留离子泵接口。
 
5、功率源
    1、射频电源功率≥1000W;
    2、直流电源功率≥1500W;
3、4个溅射靶分别可使用射频与直流电源。
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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